基本型等离子清洗机是一种利用低温等离子体技术对材料表面进行清洁、活化和改性的精密设备，广泛应用于微电子、半导体、光学、生物医疗和新材料研发等领域。其通过在真空腔体内产生高能等离子体，有效去除表面有机污染物、微颗粒及氧化层，显著提升材料的附着力、润湿性和结合强度。工作原理基本型等离子清洗机主要由真空腔体、射频（RF）电源、气体控制系统和抽真空系统组成。工作时，将待处理样品放入腔体，抽至一定真空度（通...